近日，由科技部主办的首届全国颠覆性技术创新大赛总决赛落下帷幕，成科中心科研人员参与、福建德尔科技有限公司（以下简称德尔科技）实施的“国内唯一高端半导体电子级三氟化氯产业化项目”从全国2724个参赛项目中脱颖而出，获得了大赛最高奖——优胜奖，并成功入选了科技部颠覆性技术备选库。

近年来，成科中心积极探索以多种形式汇聚各类创新要素，持续开展军民科技协同创新，实现共性关键技术突破并助推产业发展的产学研合作模式。与德尔科技共同组建科研团队开展半导体电子化学品材料联合攻关，取得创新性成果并成功实现了产业化，正是成科中心产学研合作模式结出的硕果。

电子级三氟化氯是芯片制造过程中最高效的清洗剂和蚀刻剂，主要用于LCPVD腔室清洗和先进工艺制程。该项目的成功代表了我国含氟电子气体领域自主研发和科技创新的最高成就，填补了国内半导体关键材料领域的空白，科技成果评价达到国际领先水平，使我国成为继日本和美国之后全球第三个成功实现电子级三氟化氯产业化的国家。电子级三氟化氯衍伸出的新型氟金属基含能材料及其新应用，代表了可能改变世界规则的颠覆性技术硬科技，其应用效果超具前沿感和震撼力。