纯铜平面工件是XXX实验研究中的关键零件，其制造质量对于该实验结果的准确性、可靠性和可重复性具有重要的意义，其径厚比达到100：1，属于典型的弱刚性平面工件，在加工过程中极易引起工件变形且难以有效控制。针对上述难题，研究团队主要从材料、工艺以及测量等方面开展研究，在材料特性控制方面，掌握了基于冷轧和锻造工艺的纯铜材料晶粒度细化与均匀性调控方法，目前晶粒度可稳定控制在7级左右，获得了热处理参数对工件内部应力的影响规律，上述研究为实现纯铜材料晶粒度、内部残余应力等介观特性的确定性控制奠定了技术基础，尤其是对于后续该类工件材料特性的调控指明了方向。在工艺研究方面，建立了弱刚性纯铜平面工件真空吸附装夹变形误差预测仿真模型，初步掌握了夹具基准和真空吸附参数对该工件面型精度的影响规律，提出了装夹面型误差补偿方法和双面等余量去除的工艺策略，该项研究成果中的平面零件装夹设计、基准精修、面型误差补偿控制等方法，对于实现平面工件的高精度加工具有重要的参考意义。在测量方面，构建了基于同步干涉技术和子孔径拼接算法的大尺寸平面工件面型误差原位测量系统，实现了工件变形的原位测量与反馈补偿的高精度加工。通过对材料晶粒度等特性调控、变形模拟与补偿以及原位测量的一体化加工方法研究，能够有效克服传统加工中材料晶粒度等性能不可控、加工与测量分离的缺点，为实现弱刚性纯铜平面高精度确定性可控制造奠定技术基础。