技术指标：

1.能够实现扫描近场光学显微镜的探测、成像等功能;

2.具有样品扫描工作模式，自动进针功能：

样品台xy调节范围：≥5毫米，马达调节；

样品扫描范围：≥80×80×60(微米)；

近场光学分辨率：xy方向≤100纳米。

3.具有有探针扫描工作模式，自动进针功能：样品台xy调节范围：≥5毫米，马达调节；样品扫描范围：≥80×80×60(微米)；

用于纳米材料的表征。