技术指标：

1.“全逆扩散式”检漏仪

2. 最小可检漏率：

真空模式：5x10^-13Pa.m³/s

吸枪模式：3x10^-9Pa.m³/s

3. 最大可检漏率：1x10^-2Pa.m³/s

4. 可检质量数：2，3，4amu

5. 最大进气口压强：1500Pa

应用领域：

现有工具中安装前对部件执行检漏，工艺气体系统的检查和安装。